主要技术指标：

扫描长度：≤30mm；

垂直测量范围（最大台阶高度）：≤1.9mm；

扫描速度：2μm/s到200μm/s；

垂直范围分辨率：2.5μm台阶高度内测量分辨率0.1nm；

重复精度：0.6nm或0.1%台阶高度

最大样品厚度：≤20mm；

服务项目：

可测量样品粗糙度、波纹度和厚度。可测量各种材料，包括：磁盘、半导体晶圆、精密加工和抛光面、微电子陶瓷、平面显示器玻璃、光学表面

存放地点：

分析测试室