主要技术指标：
照明系统
透射光照明：100W卤素灯，阿贝长距离聚光镜
反射光照明：内置柯勒照明12V 100W卤灯
物镜系统：
倍率 |
5X |
10X |
20X |
50X |
100X |
工作距离/mm |
12.0 |
6.5 |
3.0 |
1.0 |
1.0 |
分辨率/μm |
2.24 |
1.12 |
0.75 |
0.42 |
0.37 |
目镜系统
目镜放大倍率10 X
相机技术参数
彩色CCD
感光元件尺寸：2/3英寸
分辨率：4140×3096，1280万有效像素
观察功能：明场、暗场、简易偏光、微分干涉
服务项目：
半导体材料和器件、各种晶体、集成电路等的检验和分析测量。
存放地点：
分析测试室
